集成电路工艺实验室

集成电路工艺实验室是面向电子科学与技术专业开展实验教学及毕业设计的专业实验室。

目前开设的实验课程有：集成电路工艺实验。通过实验教学，使学生掌握集成电路工艺制备流程、影响集成电路性能的工艺参数、决定集成电路集成度的关键工艺。在巩固基础理论知识的基础上，掌握常用集成电路工艺制备设备及其使用方法，培养学生动手操作器件制造设备的能力及从工艺中改善集成电路性能的能力。

实验室有真空高温管式炉、常压高温氧化/扩散炉、匀胶机、光刻机、高真空蒸镀机、磁控溅射沉积系统等。

常压高温氧化/扩散炉                                                                       真空高温管式炉

--------------------------------实验项目----------------------------

Si外延层的制备实验                         热氧化实验           

光刻实验                                    扩散实验            

真空蒸发金属电极实验                   Si外延层质量检测实验

固体电子学实验室

固体电子学实验室是面向电子科学与技术专业开展实验教学及毕业设计的专业实验室。

目前开设的实验课程有：固体电子学实验。通过实验教学，使学生掌握半导体器件常用的测试方法。在巩固基础理论知识的基础上，掌握常用集成电路工艺及材料性能测试方法，培养学生动手操作器件测试能力及从工艺中改善集成电路性能的能力。

实验室有金相显微镜、霍尔效应测量仪、椭圆偏振仪、少子寿命测量仪、四探针测试仪、晶体管图示仪、探针台等。

金相显微镜                                                        探针台                                                                      椭圆偏振仪

--------------------------------实验项目----------------------------

霍尔效应测量实验                    薄膜厚度与折射率的测量实验

离子束刻蚀实验                        单晶Si少子寿命测量实验

测控溅射沉积薄膜