固体电子学实验室

固体电子学实验室是面向电子科学与技术专业开展实验教学及毕业设计的专业实验室。

目前开设的实验课程有:固体电子学实验。通过实验教学,使学生掌握半导体器件常用的测试方法。在巩固基础理论知识的基础上,掌握常用集成电路工艺及材料性能测试方法,培养学生动手操作器件测试能力及从工艺中改善集成电路性能的能力。

实验室有金相显微镜、霍尔效应测量仪、椭圆偏振仪、少子寿命测量仪、四探针测试仪、晶体管图示仪、探针台等。

 

金相显微镜                    探针台                椭圆偏振仪

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霍尔效应测量实验                    薄膜厚度与折射率的测量实验

离子束刻蚀实验                        单晶Si少子寿命测量实验

测控溅射沉积薄膜